1、粗抽真空

将被干燥零件放入密闭真空干燥室内，利用粗真空系统在室温下对其粗抽真空，使其内部压力下降。（准备阶段） 

2、加热+蒸汽清洗

其次，粗真空系统对真空干燥室进行间断性的抽真空操作，同时由蒸馏装置将清洗液气化成为高温蒸气，并使之依靠压差流入真空干燥室，蒸气遇到温度较低的零件时发生液化，不断冲洗清洗件，实现蒸气清洗，同时液化热将零件逐步加热。（加热清洗阶段）

3、排液

在加热的最后阶段，气液相变趋于平衡。此时，将干燥室中的沉积的液态碳氢溶剂通过排液的方式排除，以便在更高的真空下实现零件的完全干燥。

4、真空干燥

在真空干燥阶段，由干燥真空系统对干燥室进行抽真空操作，由于此时干燥室中清洗液的蒸气压力高于周围空间的压力，也就是产品（工件）表面温度大于此真空条件下残留碳氢的最高沸点，液态的碳氢溶剂迅速气化（突沸），并随着真空系统排出干燥室，从而实现对产品的干燥。

碳氢蒸汽洗及干燥过程图